1、光路系统搭建与调试：负责系统光路集成，包括激光光源耦合、光束**（准直/扩束/匀化）、成像物镜调试等核心环节，确保光刻分辨率、均匀性等关键指标达标。 2、光学性能测试与优化：使用功率计、光束质量分析仪、干涉仪等检测设备，开展光路参数测试（如光束发散角、能量分布、波前畸变），针对测试结果进行光路调整与优化，提升系统稳定性和光刻效果。 3、工艺文档编写与沉淀：制定光路调试SOP（标准作业程序），记录调试过程中的关键参数、问题及解决方案，形成可复用的技术文档，支撑团队技术传承。 4、跨部门协作与问题排查：与机械结构、电控软件团队协同，解决光路与机械安装、运动控制的兼容性问题；针对光刻过程中出现的光路异常（如光斑漂移、能量波动）进行快速定位与修复。