1.负责 CDSEM、膜厚、缺陷检测等半导体量测设备日常巡检、故障抢修、定期预防性保养工作。 2.统筹设备异常闭环管理，修订、优化设备异常处理流程、保养作业规范等DCC文件。 3.负责备件全生命周期管理，编制采购 PR 申请，跟进厂商订单到货验收、定期备件盘点，保障维修备件库存充足。 4.完整维护设备保养、故障、检测、验收各类台账文档，按时输出周工作总结、设备运行分析及改善报告。 5.统筹设备长期改善工作，批量排查同机型共性隐患，落地保养优化、硬件改造等改善项目，减少故障停机。 6.落实洁净室6S 管理与设备安全日常检查，规范设备区域物料、工具、备件定置管理，满足洁净室管控要求。