1.研究二流体、兆声波及Advanced  Nano等物理清洗的能量传递机理，量化颗粒去除效率与图形损伤的阈值关系； 2.针对高深宽比图形结构，确定无损伤临界工艺窗口，构建结构-参数-良率数据模型； 3.开展喷嘴喷射流场仿真建模与优化，研究喷嘴结构、流量、角度对清洗均匀性及颗粒去除效率的影响； 4.研究干燥过程中Marangoni效应、表面张力梯度等物理机制，优化干燥工艺窗口，减少水渍与图案塌陷； 5.预研下一代喷嘴构型及新型流体介质，完成原理验证并推动工程化落地。