1.参与超临界干燥工艺研发及量产验证，支持客户端产品验证与异常问题排查解决； 2.参与超临界清洗工艺开发与优化，研究超临界流体对不同污染物的去除效率及对图形结构的无损特性； 3.SiGe、High-K等材料修复工艺研发与验证； 4.参与超凝态深冷气溶胶清洗新项目的工艺与设备协同开发，研究气溶胶发生机制、输运行为及清洗效果的关键影响因素； 5.撰写工艺研究报告、操作指导书、专利交底书等技术文档。