1.研究H₃PO₄体系下湿法清洗/刻蚀工艺中的化学反应路径与反应动力学，明确氮化硅、氧化硅等非金属膜及钼、氮化钛、钨等金属膜的刻蚀行为与界面反应机理，建立刻蚀速率与选择性的调控模型； 2.  建立H₃PO₄体系化学反应动力学模型，揭示温度、浓度、流量、杂质离子等因素对反应速率和选择性的影响规律，解析关键反应步骤及中间产物； 3.  研究H₃PO₄体系长期循环使用过程中药液组分变化规律及副产物生成机制，提出药液寿命延长与再生方案； 4.  开展H₃PO₄药液对PEEK、PFA、PTFE、石英等结构材料的兼容性评估，明确材料性能退化边界（导电性、硬度、腐蚀等），为硬件选型与腔体设计提供依据； 5.  主导H₃PO₄配套设备的开发与验证，覆盖临港研发线先行验证及客户端量产导入阶段，推动工艺从研发到量产的落地转化。