1、负责微纳加工设备的整机软件系统架构设计及核心模块开发； 2、开发高精度的运动控制系统软件，实现对纳米级定位平台、工件台、机械臂等执行部件的精准控制与轨迹规划； 3、负责设备自动化工艺流程软件的开发与优化，支持复杂微纳加工工艺（多层套刻、灰度曝光、高深宽比刻蚀等）的自动化执行； 4、开发高速数据采集与实时处理软件系统，处理来自位置传感器、光电检测、SEM对准等模块的海量数据，优化加工精度与效率； 5、参与整机软件系统的联调、测试与优化，解决多线程并发、实时通信、数据处理等环节的技术难题； 6、与硬件、光学、工艺团队协同，实现设备控制、数据交互及系统集成，编写软件设计文档、用户操作手册及技术规范。