1、参与光刻机系统的方案设计，充分熟悉各模块设计理念；了解光学系统原理，设计整机集成方案； 2、了解指标分解方法，根据模型分配各子系统的性能指标，同时给出指标验证方法； 3、根据设计的指标验证方法，利用相关软件进行验证测试，评估系统的性能指标是否满足设计要求,及时反映集成中的问题，并提交集成调试进展报告； 4、分析设计和集成过程中的故障，制定并实施解决方案,根据集成过程中的问题解决，提供系统优化方案，并反馈到设计，以便持续提高系统性能。