1、负责精密设备中的真空控制，负责定制化真空系统及模块的开发，开展对应的模块方案设计和结构开发，涵盖真空系统设计、部件结构概要设计需求，实现设备洁净真空的稳定构筑及状态切换； 2、负责精密设备中的环境控制，开展流体管网的原理及结构设计，通过气、液的精准输配，保证设备中关键区域温度、压力、流量、纯度等环控指标的达成； 3、负责精密设备中的污染控制，负责颗粒及释气等污染指标制定，开展对应的模块方案设计和结构开发，涵盖污染指标制定、洁净方案设计、部件结构概要设计需求。